石英坩堝，具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用越來(lái)越廣泛。目前，國(guó)內(nèi)石英坩堝生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)中使用的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù)全部源于上世紀(jì)70年代初錦州155廠從日本引進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù)，該項(xiàng)技術(shù)設(shè)備自動(dòng)化程度不高，整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中更多的依靠人工來(lái)實(shí)現(xiàn)，現(xiàn)在國(guó)內(nèi)新上的坩堝生產(chǎn)設(shè)備都已經(jīng)往自動(dòng)化發(fā)展。

1、石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今，世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。

2、不能和HF接觸，高溫時(shí)，極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。

3、石英坩堝適于用K2S2O7，KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。

4、石英質(zhì)脆，易破，使用時(shí)要注意。

目前坩堝生產(chǎn)涂層技術(shù)已被大多數(shù)廠家使用就是在坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層，其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過(guò)程中硅與石英坩堝反應(yīng)提高成晶率。

石英坩堝的使用及維護(hù)

1、石英坩堝主要化學(xué)成分是二氧化硅，除氫氟酸外不與其它酸作用，易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用。

2、石英坩堝對(duì)熱的穩(wěn)定性很好，可直接放在火焰上加熱

3、石英坩堝和玻璃器皿一樣，容易破碎，使用時(shí)要特別小心