?? ?熱解石墨是新型炭素材料，是高純碳氫氣體在一定的爐壓下，在1800℃～2000℃的石墨基體上經(jīng)化學氣相沉積出的較高結(jié)晶取向的熱解碳，它具有高密度（2.20g/cm3）、高純度（雜質(zhì)含量（0.0002%）和熱、電、磁、力學性能各向異性。在1800℃

原料氣態(tài)或液態(tài)的碳氫化合物。如甲烷、乙炔、丙烷、天然氣、苯、甲苯等，均可用作沉積炭的原料。載氣或稀釋氣體有氮、氬等惰性氣體?；w為難熔金屬及其化合物，人造石墨，通常使用后者。

可分為直接加熱法和間接加熱法。（1）直接加熱法 基體本身通電產(chǎn)生高溫。此法適宜于沉積體較薄，形狀簡單而體積較小的部件。適合于研究工作。（2）間接加熱法 基體放在發(fā)熱體內(nèi)或外，受到發(fā)熱體輻射而加熱到高溫。這種加熱方法可用電阻加熱和感應(yīng)加熱。此法尤其是感應(yīng)加熱更宜制取尺寸較大，厚度大而形狀復(fù)雜的部件。大型沉積爐的熱區(qū)直徑達2500mm，高約3000mm。[1]

熱解石墨的顯微結(jié)構(gòu) 主要受沉積溫度及基體表面粗糙度的影響，在沉積面上可看到圓形凹凸不平浮雕般的狀態(tài)。其斷面有兩種結(jié)構(gòu)即錐體從基體一次生長至表面的一次成核結(jié)構(gòu)及在沉積過程中不斷產(chǎn)生新的小錐體的連續(xù)成核再生結(jié)構(gòu)。

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